產品概述：
北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺，采用無磁材料制成，采用亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間多維磁場。線圈可采用自然冷卻（磁場較?。?/span>或水冷結構（磁場較大），標配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現水平方向二維移動和360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。
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廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。三維探針臺和錦正茂自主研發的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現了空間任意方向上的矢量場合成。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統
t 1Mpa正壓系統升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉接頭
t 靜音真空泵
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技術指標：
三維磁場探針臺 | |||
型號 | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
材質 | 所選材料均為無磁材質 | ||
磁場范圍 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
線圈材質 | 耐高溫漆包線 | ||
磁場均勻性 | 中心區50毫米球體內1% | ||
電源穩定性 | 三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm | ||
磁場分辨率 | 0.05 mT | ||
角度分辨率 | 0.02° | ||
樣品固定方式 | 吸盤或者壓片 | ||
樣品臺直徑 | 50mm可定制 | ||
顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
放大倍數 | 16~100X/20~4000X | ||
探針臂數量 | 2、4可選 | ||
探針臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更換 | ||
探針臂移動精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | ||
探針長度 | 38mm | ||
探針直徑 | 0.51mm | ||
針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm | ||
探針材料 | 鎢/鈹銅/GGB | ||
漏電精度 | 100fA | ||
顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
