錦正茂高低溫真空探針臺可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz)，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

高低溫真空探針臺應(yīng)用于高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等。

可選附件：

防震桌

多級壓縮制冷機(jī)

機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

射頻部件

各類型頻率真空接頭

各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…

各類探針夾具

Chuck運(yùn)動裝置

電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

1Mpa正壓系統(tǒng)

超高溫升級選件

超高真空升級選件